朱智源，教授，2016年1月于北京大学取得微电子学与固体电子学专业博士学位，2010年7月于电子科技大学取得电子科学与技术（微电子技术）专业学士学位，2013年12月至2014年12月在美国佐治亚理工学院访学，2016年6月至2019年8月任浙江大学讲师（教学科研并重岗），2019年9月任welcome皇冠地址教授。担任SCI期刊PLOS ONE编委、国际期刊SCIREA Journal of Energy编委，任中国微米纳米技术学会高级会员、中国仪器仪表学会高级会员，任IWMSME 2020会议技术委员会委员，任EAMC 2018会议委员并做邀请报告，受邀在TESA’20上做大会报告，在Nano S&T-2019上做邀请报告。累计获得浙江大学海洋学院“中天科技奖教金”（最佳论文奖）、国际埃尼奖提名、北京大学三好学生等荣誉和奖励10余项。

近年来，获批国家自然科学基金，GF预研子课题，航天科学技术基金，航空科学基金，市校合作项目，自制仪器设备，中央高校基本业务费等课题10余项。参与多项国家级重点课题，包括：GF973项目、02国家科技重大专项、国家十二五计划、装备预研教育部联合基金等。以第一作者/通信（包括共同通信）作者身份发表SCI论文20余篇，包含IF>15一区顶级期刊论文4篇，Applied Materials Today (IF =8.013)，Chemical Communications (IF =6.164)，Nature子刊(Microsystems & Nanoengineering, IF=5.616)等。标志性科研成果被新华社、科技日报、浙江日报、都市快报以及浙江老年报等权威媒体报道，并被人民网、中新网、新浪网、搜狐网、凤凰网等20多家媒体转载。申请发明专利20余项。受邀担任Adv. Funct. Mater.，NANO ENERGY, MICRO NANO LETT.等多个国际重要期刊审稿人，

Dr. Zhiyuan Zhu (Ph.D.-Microelectronics and solid state electronics), now is a full professor in Southwest University. He is editorial board members in PLOS ONE (SCI index) and SCIREA journal of Energy. He is also the committee members and gives invited or keynote talks mutiple international conferences. He is senior members of CSMNT and CIS society. He got his B.S in electronic science and technology (microelectronics technology) at university of electronic science and technology of china, Ph.D. in microelectronics and solid state electronics at Peking University, and he was a visiting scholar of Georgia institute of technology (2013-2014). He joined Zhejiang University as an assistant professor in 2016. And Dr. Zhiyuan Zhu got Zhongtian Faculty Fellowship of Ocean College, Zhejiang University in 2018. He is promoted as a full professor in Southwest Universityin September 2019.

Research interest：Microsystem technology (including Micro/nano fabrication, Self-power sensor, Nano energy device)

主要研究领域是微系统技术，在微系统小型化三维封装技术、自供能电子微系统以及微纳传感/执行器件等方向上开展了深入的研究工作。

1.微系统小型化三维封装

基于性能、功能、成本以及生产效率驱动的三维集成已成为集成电路以及微系统领域发展的必由之路。我们研发了新型的微电子键合技术，包括：PPC临时键合及解键合工艺、新型的Cu-Cu键合技术，以及Al基微电子器件的立体集成封装技术，为微电子器件的立体集成封装提供了高效的解决方案；发明并研究了厚型硅PIN辐射探测器和薄型硅PIN辐射探测器，设计了相应的制作工艺，所研制的硅PIN辐射探测器相关性能达到国际先进水平，在我国首次实现厚、薄硅PIN探测器的三维集成。在此基础上，进一步研究包含特种传感器的微系统小型化三维封装方法以及其工艺实现。

2.自供能电子微系统

摩擦纳米发电机基于静电和静电势原理，能够使用低成本的商用材料，将生活中的各种形式的低频机械能（肌肉能，摩擦能，风能，水波能等等）转变为电能，并可作为物联网的自供能传感节点。我们发明了多种崭新的摩擦纳米发电机结构，实现了高达1000V的开路电压，可收集人体机械能并实现温度、压力、速度以及化学传感与检测，湿度测试结果表明其具有水下应用的能力；基于摩擦纳米器件，与储能器件结合，制作自供能可穿戴能源部件；提出了基于微流道的摩擦纳米发电机。在此基础上，进一步研究自供能电子微系统，研发面向物联网的穿戴式电子器件以及自驱动传感感知技术。

3.微纳传感/执行器件

创造了新颖的应变传感器、基于微流道的拉曼检测以及光催化器件，发明了新型的SOI的硅体谐振器，提出基于醋酸的瞬态电子级联触发模式，实现可编程的瞬态自毁，具有简单，安全性高，成本低，触发温度低的优点。在此基础上，面向互联网传感领域对传感/执行器件的重大需求，探索新结构、新机理的微纳传感/执行器件。